微粒計數濃度的檢測

E.4.1  室內檢測人員應控制在最低數量，不宜超過2人，面積超過100m²又需快速完成測定任務時，可適當增加人數。人員必須穿潔凈服，應位于測點下風側并遠離測點，動作要輕，保持靜止。

E.4.2  0.1um至5um微粒的檢測應符合以下要求：

        1  當采用光學粒子計數器(OPC)測定0.1um至5um的微粒計數濃度時，應按本規范第16.4.5條第1款給出的公式計算空氣潔凈度級別。粒子計數器粒徑分辨率應小于等于10%, 粒徑設定值的濃度允許誤差應為±20% ,并應按所測粒徑進行標定，符合現行國家標準《塵埃粒子計數器性能試驗方法》GB/T6167的規定。

        2  測點數可按式(E.4.2-1)求出：

n_min ＝√A (E.4.2-1)

式中：n_min——最少測點數(小數一律進位為整數);

               A——被測對象的面積(m²)；對于非單向流潔凈室, 指房間面積；對于單向流潔凈室，指垂直于氣流的房間截面積；對于局部單向流潔凈區，指送風面積。

測點數也可按表E. 4. 2-1選用。

        3  每一受控環境的釆樣點不宜少于3點。對于潔凈度5級及優于5級以上的潔凈室，應適當增加采樣點，并得到用戶（建設方）同意并記錄在案。

        4  采樣點應均勻分布于潔凈室或潔凈區的整個面積內，并位于工作區高度（取距地0. 8m，或根據工藝協商確定），當工作區分布于不同高度時，可以有1個以上測定面。

        亂流潔凈室（區）內釆樣點不得布置在送風口正下方。

        5  如建設方要求增加采樣點，應對其數目和位置協商確定。

        6  每一測點上每次的采樣必須滿足最小采樣量。最小采樣量根據“非零檢測原則”由下式求出:

式中：濃度下限單位為粒/L。

每次采樣最小釆樣量按表E.4.2-2選用。

注：表中最小采樣量取到2L，用2. 83L/min計數器時，則實際最小采樣量大于2L。表中最小釆樣量大于2. 83L的，可用2. 83L/min計數器采樣多于1min, 或用28. 3L/min計數器采樣1min，余類推。

        7  每點采樣次數應滿足可連續記錄下3次穩定的相近數值, 3次平均值代表該點數值。

        8  當懷疑現場計算出的檢測結果可能超標時，可增加測點數。

        9  測單向流時，采樣頭應對準氣流；測非單向流時，采樣頭一律向上。

        10  當要求0.1um-5um微粒在采樣管中的擴散沉積損失和沉降、碰撞沉積損失小于采樣濃度的5%時，水平采樣管長度也應符合附錄D.3.6條的規定。

        11  若采樣口流速與室內氣流速度不相等，其比例應在 0.3 : 1～7 : 1 之間。

        12  當因測定差錯或微粒濃度異常低下（空氣極為潔凈）造成單個非隨機的異常值，并影響計算結果時，允許將該異常值刪除，但在原始記錄中應注明。

        每一測定空間只許刪除一次測定值，并且保留的測定值不少于3個。

        13  對于需要很大采樣量、耗時很大的某粒徑微粒的檢測, 可釆用順序采樣法，即將每次測定結果標注于圖E.4.2上，當標注點落入不合格區時，即停止檢測，結果為不達標；當標注點落入合格區時，停止檢測，結果為達標；當標注點一直在繼續區中延伸，而總采樣量已達到表E. 4. 2-2的最小采樣量，累計微粒數仍小于20，即停止檢測，結果為達標；當標注點一直在繼續區中延伸，而總采樣量未達到最小采樣量，但累計微粒數已超過20，即停止檢測，結果為不達標。

E.4.3  對小于0.1um的超微粒的檢測，應采用適合這類微粒具體特性的采樣裝置組合使用。可采用凝結核計數器（CNC或CPC加靜電式分級器（遷移率分析儀）（DMA）、凝結核計數器（CNC或CPC）加擴散式分級器（DB）等，但必須有明確的性能說明書，或有自檢報告，對所測超微粒的最低粒徑的計數效率應達到50%，釆樣點數目應與E.4.2條對0.1um~5um的要求相同。

E.4.4  大于5um的大（宏）微粒的檢測應符合下列要求：

     1 用光學粒子計數器檢測時應遵守下列規定：

        1）粒子計數器應經過大微粒的標定，符合現行國家標準 《塵埃粒子計數器性能試驗方法》GB/T 6167的規定, 對潔凈室為6級或優于6級的潔凈室的測定，應采用不小于28. 3L/min的計數器，對其他級別潔凈室的潔凈度應采用不小于2. 83L/min的計數器；

        2）當用28. 3L/min計數器時，水平管不應長過0.5m, 

          當用2.83L/min計數器時，原則上不宜有水平管；

        3）釆樣口面積應按等速采樣原則確定，室內風速取平均風速。

      2 用過濾器采集、顯微鏡檢測時，應遵守下列規定：

        1）過濾器為孔徑應小于等于2um的濾膜。當過濾器采樣口直徑為25mm時，真空泵采樣流量不小于7L/min，當過濾器采樣口直徑為47mm時，采樣總量不小于28.3L/min。對于非單向流潔凈室，總采樣量不小于28.3L/min，對于單向流潔凈室，總采放量不小于280L/min。

        取下濾膜，將濾膜放在清潔的蓋玻片上（圖E.4.4），采樣面向上，放進有50°C左右丙酮蒸汽的燒杯內熏蒸。對容積為600mL的燒杯，大約加入15mL丙酮，當做過3次樣片時，再加入15mL丙酮, 待濾膜透明后取出，再將蓋玻片反向固定在載物片上（用鋁箔圈或紙圈將蓋玻片與載物片隔開），熏后在蓋玻片四周用膜或蠟封住。

        2）計數時應把制好的標本片固定在顯微鏡（100 倍）工作臺的適合位置 上，一張標本片上計數總面積不小于0. 02× 4mm²，在檢測中應不斷調整。

        3）測定之前，必須先測出使用的同一批濾膜的基數密度，最后的計數濃度由下式得出:

式中:  G₀——濾膜基數密度（粒/mm²）；

         G₁——采樣后計數的總采樣粒數（粒）; 

         f₀——濾膜有效面積（mm²）；

         f₁——采樣后計數的總面積（mm²）；

         q——采樣流量（L/min）；

         t——采樣時間（min）。