氣體供給裝置

6.6.1  瓶裝氣體供給裝置應(yīng)安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應(yīng)加套管，并應(yīng)在管道與套管間隙填滿不燃材料并加密封。

6.6.2  裝置岀口管道上的安全閥在安裝前應(yīng)進(jìn)行閥門開啟檢查。開啟壓力、密封壓力和回座壓力應(yīng)符合安全閥性能要求。

6.6.3  集中式真空吸引裝置應(yīng)安裝在遠(yuǎn)離潔凈室的建筑物外，安裝時(shí)應(yīng)采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應(yīng)小于5倍管外徑，過濾清除設(shè)施應(yīng)安在排氣口。